Análisis del objeto de procesamiento.
Material: vidrio de cuarzo de grado óptico
Funciones de procesamiento: rectificado de contornos de múltiples-superficies (incluidas 3 facetas asimétricas)
Dimensiones clave: 16×16×10 mm (error ±0,002 mm)
Este prisma de cuarzo, que tiene sólo el tamaño de una uña, es el elemento principal-guía de luz del sistema óptico de una máquina de litografía doméstica-de alta gama. Sus 8 superficies curvas complejas deben alcanzar una transmitancia del 99,6 % y una precisión refractiva de nivel nanométrico-, y la rugosidad de la superficie afecta directamente la resolución de exposición de la máquina de litografía.
Puntos débiles y dificultades técnicas de la industria
Una empresa de tecnología óptica encontró un cuello de botella en el procesamiento de prismas de cuarzo al promover la localización de máquinas de litografía:
Defectos de molienda tradicionales: La rugosidad después del pulido manual aún alcanza Sa 120 nm, lo que resulta en una pérdida por dispersión de luz del 15 %.
Dependencia de los equipos de las importaciones: El coste de una sola amoladora japonesa de ultra-precisión supera los 20 millones de yuanes y el plazo de entrega es de hasta 18 meses.
Crisis de rendimiento: Sólo 32 del primer lote de 500 producciones de prueba cumplieron con los estándares, lo que frenó seriamente el progreso del proyecto.
El dilema de "no puedo permitirme equipos importados y los procesos nacionales no son buenos" bloqueó directamente el proceso de desarrollo independiente de máquinas de litografía.
BISHÉNsolución de soluciones
En respuesta a los requisitos de extrema precisión de los componentes ópticos, el equipo técnico de BISHEN ha desarrollado investigación y desarrollo innovadores:
1. Sistema de procesamiento de enlace vertical ultrasónico de cinco-ejes
Compensación dinámica de nivel 2. 0.1μm-, control preciso de máquinas herramienta de varillaje de 18 ejes
3. Programación inteligente CAD/CAM de superficie asimétrica coincidente
4. Tecnología de molienda asistida por ultrasonidos de alta-frecuencia
5. 40la vibración ultrasónica de kHz reduce el 52 % de la tensión de corte y evita las microgrietas del cuarzo
6. La vida útil de la muela abrasiva de micro-diamante en polvo se prolonga 3 veces
Salto de rendimiento medido real
Se han logrado tres avances importantes en la producción en masa de cierto tipo de prisma de máquina de litografía doméstica:
1.Calidad de la superficie: Rugosidad Sa<70nm (better than ASML supplier standard)
2.Eficiencia de procesamiento: las horas de trabajo de una sola-pieza se comprimen de 14 horas a 3,5 horas.
3.Control de costos: la inversión en equipos es solo 1/5 de la solución importada
La tasa de rendimiento del primer lote de 3.000 productos aumentó al 98,7%, lo que ayudó a los clientes a completar el ensamblaje de los prototipos 6 meses antes de lo previsto.
acerca deBISHEN
BISHÉNPrecision Technology (fundada en 2017) se centra en romper con la tecnología "cuello de botella" en el campo de la fabricación de alta-. Ha construido una fábrica digital de 7500 metros cuadrados en Dongguan, equipada con grupos de equipos importados, como centros de mecanizado de varillaje de cinco-ejes y rectificadoras ópticas de ultra-precisión. Al aplicar tecnologías innovadoras como el mecanizado ultrasónico y el corte criogénico a equipos semiconductores, instrumentos optoelectrónicos y otros campos, ha proporcionado soluciones de procesamiento de piezas clave para más de 20 empresas nacionales de la cadena industrial de máquinas de litografía y ha entregado más de 500.000 componentes ópticos de precisión.
